试述薄膜电容检测器的工作原理、结构和特点。

试述薄膜电容检测器的工作原理、结构和特点。
    薄膜电容检测器又称薄膜微音器，由金属薄膜动极和定极组成电容器，当接收气室内的气体压力受红外辐射能的影响而变化时，推动电容动片相对于定片移动，把被测组分浓度变化转变成电容量变化。
    薄膜电容检测器的结构如图2-3所示。薄膜材料为铝镁合金，其厚度为5~8μm，近年来多采用的钛膜则更薄一些。定片与薄膜间的距离为0.1~0.04mm，电容量为40~100pF，两者之间的绝缘电阻>105MΩ。
    薄膜电容检测器是红外气体分析仪长期使用的传统检侧器，目前使用仍然较多。它的特点是温度变化影响小、选择性好、灵敏度高。其缺点是薄膜易受机械振动的影响，调制频率不能提高，放大器制作比较困难，休积较大等。