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什么是微小流量检测器?

什么是微小流量检测器?
    微流量检测器是一种测量微小气体流量的新型检测器件。其传感元件是两个微型热丝电阻,和另外两个辅助电阻组成惠斯通电桥。热丝电阻通电加热至一定温度,当有气体流过时,带走部分热量使热丝元件冷却,电阻变化,通过电桥转变成电压信号。
    微流量传感器中的热丝元件有两种,一种是栅状镍丝电阻,简称镍格姗,它是把很细的镍丝编织成栅栏状制成的。这种镍格栅垂直装配于气路通道中,微气流从格栅中间穿过。另一种是铂丝电阻,在云母片上用超微技术光刻上很细的铂丝制成。这种铂丝电阻平行装配于气路通道中,微气流从其表面通过。
    这种微流量检测器实际上是一种徽型热式质量流量计,它的体积很小(光刻铂丝电阻的云母片只有3mm×3mm见方,毛细管气流通道内径仅0.2~0.5mm),灵敏度极高,精度≤±1%,价格也较便宜。采用微流量检测器替代薄膜电容检侧器,可使红外分析仪光学系统的体积大为缩小,可靠性、耐振性等性能提高,因而在红外、氧分析仪等仪器中得到了较广应用。

本文来自:流量仪表  http://www.360abg.com/products/liuliangyibiao/
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