量热式质量流量计及控制器说明
(1)量热式质量流量计是基于流动气体的对流传热特性，在特定的稳定温度场中，通过测量气体流动过程中产生的温度差来测量气体质量流量的仪表(这个温度差正比于气体的质量流量)。
质量流量计与控制阀组合成一体，自动控制通过管路的流动气体质量流量，称作质量流量控制器。
(2)质量流量计及质量流量控制器的英文名分别为mass flow meter(缩写MFM),mass flow controller(缩写MFC)。
(3)质量流量计及质量流量控制器的单位为kg/s，为了与其他形式的流量计的单位一致，符合使用习惯，也可以表示为在标准状态下的体积流量单位。
按国际通用单位规定：
sccm——标准状态(0℃，101325Pa)下，ml/min(毫升/分)；
slpm——标准状态(O℃，101325Pa)下，L/min(升/分)。
(4)量热式质量流量计及控制器在小流量领域精确控制流量等要求自动化控制的设备中被广泛使用，如石化、生化、环保、电子工艺设备、医疗、核物理、科研实验设备、配气等领域。
(5)量热式质量流量计的优点
量热式质盆流量计测得的是气体的质量流量，无须温度、压力的校正。从实际应用来看，量热式质量流量控制器比流量计使用范围更广，优点更突出：
a.能按需要控制管路流动气体产生一稳定的质量流量。‘
b.便于实现人工和计算机控制。
c.在规定质量流量范围内，任意设定质量流量。
d.可快速响应控制指令的变化。
e.具有软启动功能。
(6)量热式质量流量计的缺点：
要求气体必须是干操、清洁的。不能在振动和强磁场环境中工作。要求安装在机箱(柜)中，不能暴露在野外条件下。
量热式质量流量计和控制器的流体有液体和气体两种，本章只讨论气体的质量流量计和控制器。
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